PCM数据

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  • #4382
    德雷克
    来宾

    我们被告知我们生产的每个晶圆都有PCM数据结构。有人可以解释它是什么,我们可以从这些数据中学到什么?

    #4386
    yovav.
    来宾

    你好德雷克,

    PCM或ET是模拟结构(例如:电阻器,电容器和简单的晶体管),其放置在骰子(通常在街道)之间。
    这些结构的目的是允许FAB测量工艺参数(例如:金属层的薄层电阻,栅极氧化物分解,IDS电流等),以确保该过程在制造晶片期间和之后的规格内。

    Usually, the fab measures these parameters in 5 or 9 locations in the wafer (e.g.: center, left, right, up and down), but in case of an issue the fab can measure in more locations and even produce a wafer map for each parameter.

    #4387
    亨利克
    来宾

    PCM数据用于接受/拒绝标准。根据质量水平的不同,还考虑到尤其考虑的参数。5(工业)或5输出5(汽车)PCM结构中的3个。

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